作為半導(dǎo)體制造過程的重要工藝之一，等離子蝕刻在晶圓制造、線路板制造、太陽能電池板制造等行業(yè)中被廣泛應(yīng)用，而四氟化碳則是重要的等離子蝕刻氣體之一，在生產(chǎn)儲(chǔ)運(yùn)過程中被壓縮的CF4不可避免存在著泄漏的危險(xiǎn)。那么等離子表面蝕刻氣體四氟化碳泄漏的危害有哪些呢？一般而言，四氟化碳泄漏濃度過高對人體的影響主要包括呼吸系統(tǒng)影響、中毒作用、黏膜刺激、神經(jīng)系統(tǒng)影響等，而在現(xiàn)場安裝使用四氟甲烷CF4泄漏濃度監(jiān)測報(bào)警器就是為了對四氟甲烷泄漏濃度持續(xù)進(jìn)行監(jiān)測，以免發(fā)生危險(xiǎn)。 等離子體刻蝕機(jī)是基于真空中的高頻輝光放電反應(yīng)將四氟化碳中的氟離子電離出來，使反應(yīng)氣體激活成活性粒子，與被刻蝕材料起化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生輝發(fā)性物質(zhì)進(jìn)行刻蝕。同時(shí)為了保證氟離子的濃度和刻蝕速度必須加入一定比例的氧氣生成二氧化碳。四氟化碳由于在等離子表面處理設(shè)備中被電離后會(huì)產(chǎn)生含氫氟酸成分的蝕刻性氣相等離子體，能夠有效地對各種有機(jī)表面實(shí)現(xiàn)有機(jī)物去除及等離子刻蝕的作用。

四氟化碳能引起快速窒息，接觸后可引起頭痛、惡心和嘔吐。四氟化碳，又稱作四氟甲烷、全氟甲烷、R14，化學(xué)式為CF4，在常溫常壓狀態(tài)下是一種無色無臭有輕微醚味的氣體，惰性低毒物質(zhì)，在高濃度下是窒息劑，在高溫時(shí)，或與可燃?xì)怏w一同燃燒時(shí)，分解出有毒的氟化物。若人體吸入高濃度四氯化碳,可能會(huì)產(chǎn)生頭痛、惡心、頭昏眼花及心血管系統(tǒng)的破壞(主要是心臟)。

四氟化碳泄漏對人體的主要危害如下：
1、呼吸系統(tǒng)影響
四氟化碳可抑制人體呼吸機(jī)能，引起呼吸困難、氣喘、胸悶、干咳、喉嚨疼痛等呼吸道癥狀。
2、中毒作用
四氟化碳會(huì)進(jìn)入人體血液循環(huán)系統(tǒng)，抵達(dá)不同的器官和組織，通過作用于代謝和神經(jīng)系統(tǒng)引起長期或短期的中毒效應(yīng)，包括頭暈、昏厥、惡心、嘔吐等。
3、粘膜刺激
四氟化碳可對眼結(jié)膜、口腔和鼻腔等黏膜組織造成刺激和損傷，引起眼疼、干咳、流淚、鼻塞等癥狀。
4、神經(jīng)系統(tǒng)影響
長期暴露于四氟化碳環(huán)境中，可能對人體神經(jīng)系統(tǒng)產(chǎn)生影響，如頭疼、頭暈、嗜睡、無力等。

以贏潤集團(tuán)研發(fā)生產(chǎn)的ERUN-PG71S6-CF4便攜泵吸式R14四氟化碳檢測報(bào)警儀和ERUN-PG51CF4固定在線式四氟化碳R14檢測報(bào)警儀為例，可分別針對便攜手持方便快速檢測和固定安裝實(shí)時(shí)在線監(jiān)測四氟化碳CF4氣體的濃度值，并可根據(jù)需求選配風(fēng)速、壓力、噪聲、PM2.5、PM10、風(fēng)向、溫濕度等參數(shù)指標(biāo)。 便攜手持式四氟化碳?xì)怏w報(bào)警儀技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號(hào)：ERUN-PG71S6-CF4
檢測氣體：四氟化碳CF4
量程范圍：0-2000ppm、1ppm、進(jìn)口高精度紅外原理傳感器，其他量程、原理、分辨率可訂制
精度誤差：≤±2%F.S.
最小顯示：0.001ppm、0.001%VOL、0.1%LEL
方法原理：電化學(xué)、催化燃燒、紅外、激光、PID光離子、熱導(dǎo)等
測量方式：泵吸式，流量500毫升/分鐘
顯示方式：2.5寸高清彩屏
報(bào)警方式：聲音+閃光+振動(dòng)+屏幕、關(guān)閉報(bào)警可選
響應(yīng)時(shí)間：T90≤20秒
工作電源：3.7 V DC，6000 mA可充放電池
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：標(biāo)配10萬條，支持定時(shí)存儲(chǔ)或只存儲(chǔ)報(bào)警信息
數(shù)據(jù)傳輸：USB、RS232，可選配RS485
防護(hù)形式：IP67級(jí)防水防塵
防爆形式：Ex ia ⅡC T4 Ga級(jí)防爆
外型尺寸：178×67×40mm(L×W×H)
產(chǎn)品重量：350 g
溫度測量：-40℃~+120℃、精度0.5℃（選配）
濕度測量：0-100%RH、精度3 %RH（選配）
采樣手柄：1.2m可伸縮采樣手柄（選配） 固定在線式四氟化碳?xì)怏w檢測報(bào)警儀技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號(hào)：ERUN-PG51CF4
檢測氣體：四氟化碳CF4
量程范圍：0-2000ppm、1ppm、進(jìn)口高精度紅外原理傳感器，其他量程、原理、分辨率可訂制
精度誤差：≤±2%F.S.（更高精度可訂制）
顯示方式：報(bào)警器2.5寸彩屏現(xiàn)場顯示濃度值；控制器主機(jī)9寸彩屏值班室顯示濃度值
報(bào)警方式：現(xiàn)場聲光報(bào)警，值班室聲光報(bào)警
數(shù)據(jù)傳輸：4-20mA、RS485，可選無線傳輸
防護(hù)功能：IP65級(jí)防水防塵
防爆功能：隔爆型，Ex d ⅡC T6 Gb級(jí)防爆

以上就是關(guān)于等離子表面蝕刻氣體四氟化碳泄漏的危害的相關(guān)介紹，四氟化碳在被等離子清洗機(jī)電離后會(huì)產(chǎn)生含氫氟酸成分的刻蝕性氣相等離子體，能夠?qū)Ω鞣N有機(jī)表面實(shí)現(xiàn)刻蝕及有機(jī)物去除。四氟化碳是一種無色、無味、無毒的氣體，如果泄漏到室內(nèi)空氣中，由于其密度比空氣高，會(huì)沉積在低處，造成室內(nèi)環(huán)境的污染和危害。而在現(xiàn)場安裝使用四氟甲烷CF4泄漏濃度監(jiān)測報(bào)警器就可以24小時(shí)不間斷連續(xù)實(shí)時(shí)在線監(jiān)測環(huán)境空氣中的四氟化碳?xì)怏w的濃度值，并在其異常時(shí)進(jìn)行報(bào)警，以免危害人體健康。