四氟化碳在等離子表面處理設(shè)備中被電離后形成蝕刻性氣相等離子體,由于其所含有的氫氟酸成分能夠有效地去除各種有機(jī)物并進(jìn)行等離子刻蝕,因此在晶圓制造、線路板制造和太陽能電池板制造等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。但是四氯化碳泄漏濃度過高時(shí)卻存在較大的危害,那么
硅片刻蝕氣體四氯化碳泄漏的危害有哪些呢?一般而言,主要包括急性中毒和慢性中毒兩方面,而在現(xiàn)場安裝使用
半導(dǎo)體工業(yè)CCL4泄漏濃度報(bào)警器就可以對四氯甲烷CCL4的泄漏進(jìn)行監(jiān)測預(yù)警,避免其所造成的危害。
四氯化碳硅片刻蝕在微電子半導(dǎo)體制造行業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用:
1、
晶圓制造在晶圓制造行業(yè)中,光刻機(jī)利用四氟化碳對硅片的線路進(jìn)行刻蝕,等離子清洗機(jī)利用四氟化碳進(jìn)行氮化硅刻蝕和光刻膠去除。這些應(yīng)用能夠?qū)崿F(xiàn)有機(jī)物的去除和等離子刻蝕,對于晶圓制造具有重要意義。
2、
線路板制造在線路板制造行業(yè)中,等離子清洗機(jī)利用四氟化碳進(jìn)行孔內(nèi)除膠,代替?zhèn)鹘y(tǒng)的化學(xué)藥劑清洗。隨著線路板的微小化趨勢,傳統(tǒng)的化學(xué)藥劑清洗方法無法滿足孔小且咬蝕量控制困難的要求,而四氟化碳可以解決這些問題,提高清洗效果和工藝控制的精度。
3、
太陽能電池板制造在太陽能電池板制造中,四氟化碳主要用于刻蝕太陽能電池板周邊的P—N結(jié),使周邊呈開路狀態(tài)。同時(shí),它還可以用于半導(dǎo)體工藝中的多晶硅和氮化硅的刻蝕和去膠。
硅片刻蝕氣體四氯化碳泄漏對人體的危害:
1、
急性中毒急性中毒指接觸高濃度的四氯化碳后,短時(shí)間內(nèi)出現(xiàn)嚴(yán)重中毒癥狀。潛伏期一般為1~3天,但也可能僅為數(shù)分鐘。接觸劑量和侵入途徑將影響潛伏期的長短。呼吸道或胃腸道吸收中毒時(shí)的臨床表現(xiàn)主要涉及中樞神經(jīng)系統(tǒng)和肝、腎損害。
2、
慢性中毒慢性中毒的癥狀包括頭暈、乏力、失眠、記憶力減退、食欲不振、惡心、腹瀉和腹痛等。同時(shí)還出現(xiàn)肝大、肝功能異常的情況,嚴(yán)重者可能發(fā)展為門脈性肝硬化。此外,還可能引起視神經(jīng)炎,聽力障礙、耳蝸前庭系統(tǒng)功能障礙以及再生障礙性貧血等。
以贏潤集團(tuán)研發(fā)生產(chǎn)的ERUN-PG71S6-CTC
手持式泵吸型四氯化碳(四氯甲烷)氣體報(bào)警儀和ERUN-PG51CTC
固定式四氯化碳(四氯甲烷)氣體檢測報(bào)警儀為例,可分別針對便攜手持方便快速檢測和固定安裝實(shí)時(shí)在線監(jiān)測四氯化碳CCL4氣體的濃度值,并可根據(jù)需求選配風(fēng)速、壓力、噪聲、PM2.5、PM10、風(fēng)向、溫濕度等參數(shù)指標(biāo)。
手持式泵吸型四氯化碳(四氯甲烷)氣體報(bào)警儀技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào):ERUN-PG71S6-CTC
檢測氣體:四氯化碳CCL4
量程范圍:
CCL4:0-10ppm、0.01ppm、進(jìn)口高精度電化學(xué)原理傳感器
或
CCL4:0-100%LEL、0.1%LEL、工業(yè)級(jí)催化燃燒原理傳感器
其他量程、原理、分辨率可訂制
精度誤差:≤±2%F.S.
測量方式:泵吸式,流量500毫升/分鐘
顯示方式:2.5寸高清彩屏
報(bào)警方式:聲音+閃光+振動(dòng)+屏幕、關(guān)閉報(bào)警可選
響應(yīng)時(shí)間:T90≤20秒
工作電源:3.7 V DC,6000 mA可充放電池
數(shù)據(jù)存儲(chǔ):標(biāo)配10萬條,支持定時(shí)存儲(chǔ)或只存儲(chǔ)報(bào)警信息
數(shù)據(jù)傳輸:USB、RS232,可選配RS485
防護(hù)形式:IP67級(jí)防水防塵
防爆形式:Ex ia ⅡC T4 Ga級(jí)防爆
外型尺寸:195
×77×46mm(L×W×H)產(chǎn)品重量:500 g
溫度測量:-40℃~+120℃、精度0.5℃(選配)
濕度測量:0-100%RH、精度3 %RH(選配)
采樣手柄:1.2m可伸縮采樣手柄(選配)
固定式四氯化碳(四氯甲烷)氣體檢測報(bào)警儀技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào):ERUN-PG51NF3
檢測氣體:四氯化碳CCL4
量程范圍:
CCL4:0-10ppm、0.01ppm、進(jìn)口高精度電化學(xué)原理傳感器
或
CCL4:0-100%LEL、0.1%LEL、工業(yè)級(jí)催化燃燒原理傳感器
其他量程、原理、分辨率可訂制
精度誤差:≤±2%F.S.(更高精度可訂制)
顯示方式:報(bào)警器1.7寸彩屏現(xiàn)場顯示濃度值;控制器主機(jī)9寸彩屏值班室顯示濃度值
報(bào)警方式:現(xiàn)場聲光報(bào)警,值班室聲光報(bào)警
數(shù)據(jù)傳輸:4-20mA、RS485,可選無線傳輸
防護(hù)功能:IP65級(jí)防水防塵
防爆功能:隔爆型,Ex d ⅡC T6 Gb級(jí)防爆
以上就是關(guān)于
硅片刻蝕氣體四氯化碳泄漏的危害的相關(guān)介紹,硅片刻蝕氣體四氯化碳的泄漏對人體的危害是多方面的。急性中毒可能導(dǎo)致中樞神經(jīng)系統(tǒng)、肝、腎和消化系統(tǒng)的急性損傷,甚至危及生命。長期接觸四氯化碳可能引起慢性中毒,導(dǎo)致多種系統(tǒng)的負(fù)面影響。因此,在進(jìn)行硅片刻蝕時(shí),必須嚴(yán)格控制四氯化碳的使用和泄漏情況,并采取包括在生產(chǎn)儲(chǔ)運(yùn)等工況場所安裝使用
半導(dǎo)體工業(yè)CCL4泄漏濃度報(bào)警器等安全措施來保護(hù)工作人員的健康。