六氟化硫SF6微水露點儀主要是用來檢測高壓變壓器、高壓開關(guān)柜、高壓斷路器等電力設(shè)備以及化學(xué)氣相沉積室的清洗劑和等離子蝕刻劑等電子工業(yè)中的六氟化硫SF6的微量水蒸氣濕度的濃度值。SF6微水儀主要可以分為固定在線式和便攜手持式兩種類型，采用高分子薄膜電容法原理，可以快速準確檢測出六氟化硫SF6中的微量水分含量。六氟化硫濕度水分露點儀可以同時檢測并顯示六氟化硫SF6的露點溫度、ppmv體積比、g/m3絕對水含量，廣泛適用于氟與硫直接反應(yīng)并經(jīng)過精制的工業(yè)六氟化硫中濕度水分露點溫度的檢測。